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產品特性：氧化擴散	加工定制：是	品牌：晨立
型號：CL4513	用途：高溫干氧濕氧、退火	工藝管數量：1-4管
工藝管口徑：Φ90～360 mm	使用溫度：1250℃	送取片方式：自動進出舟
工作精度：±1℃

展開

電子實驗設備晶圓退火設備晨立電子高溫氧化爐

設備主要技術指標：

1. 用途：主要用于8寸晶圓高溫干氧濕氧、退火工藝。

2. 工作溫度范圍：700-1250 ℃

3. 恒溫區(qū)長度：＞600mm 滿足25片石英舟

4. 工作溫度和精度： 700-1250 ℃ ± 1 ℃

5. 氣路系統(tǒng)：三路氣體系統(tǒng)，采用進口MKS質量流量計、氣動閥、等進口部件

6.氣路安全性：單向閥、過濾器配置齊全

7. 溫度控制系統(tǒng)：PLC+觸摸屏可編程控制方式，自動加手動可方便切換，溫控系統(tǒng)采用進口溫控儀，溫度、流按工藝自動調節(jié)

8. 報警及保護：氣體流量偏差報警、溫度偏差報警、極限超溫報警、斷偶保護

供應商信息

青島晨立電子有限公司進入首頁

青島晨立電子有限公司成立于2009年，是半導體設備及零部件、電子設備及電子元器件生產、研發(fā)、銷售廠家。為客戶提供先進材料熱處理、高精度電加熱設備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。主要產品：高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進口的擴散爐爐體等，同時承接各種微電子生產線，進口半導體專用設備的翻新升級改造及各大專院�？蒲性核姆菢搜邪l(fā)定制工作。公司本著和諧、共贏，以“質量求發(fā)展、以誠信為根本、以客戶為中心、以用戶滿意”為目標的企業(yè)方針，為客戶提供優(yōu) 質的產品，優(yōu)良的服務。

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企業(yè)類型	有限責任公司(自然人投資或控股)	注冊資本	200.00萬人民幣
公司注冊地址	山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號聯東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號樓	統(tǒng)一社會信用代碼	91370282686796380X
登記機關	青島市即墨區(qū)市場監(jiān)督管理局	法定代表人	姜新誠
公司成立日期	2009-06-02	營業(yè)期限	2009-06-02 至無固定期限
經營范圍	一般項目：工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造；半導體器件專用設備制造；專用設備制造（不含許可類專業(yè)設備制造）；電子專用設備制造；電力電子元器件制造；電子元器件制造；半導體分立器件制造；光伏設備及元器件制造；環(huán)境保護專用設備制造；工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售；電子產品銷售；半導體分立器件銷售；半導體照明器件銷售；半導體器件專用設備銷售；半導體照明器件制造；電子專用設備銷售；光伏設備及元器件銷售；工業(yè)機器人安裝、維修；工業(yè)機器人銷售；貨物進出口；技術進出口；環(huán)境保護專用設備銷售；非居住房地產租賃。（除依法須經批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經營活動）

聯系方式

姜先生

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青島晨立電子有限公司

電話 𐀚𐀙𐀕𐀛𐀜𐀖𐀖𐀙𐀕𐀕𐀙𐀛𐀙
地址山東青島即墨區(qū) 山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號聯東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號樓

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