產(chǎn)品特性:真空泵 |
oerlikong萊寶真空低溫泵COOLVAC10000iCL維修
尼康光刻機(jī)
提供NIKON備件(包含易耗件)
1,常用的馬達(dá)
*ulhaber minimotor的173:1,30.7:1,41:1等
stage
motor(YASKAWA motor)
bellows
motor
chiba
precision motor
主要用于wafer
loader,wafer stage各部位控制馬達(dá)
2,常用的手臂
fetch
arm
load/unload arm
3,鹵素?zé)?br/>
鹵素?zé)舭∟IKON和USHIO
4,LSA
HE-NE激光管,激光干涉計(jì)interferometer
5,NIKON其它各類(lèi)備件,如電路板等
6,NIKON電路板維修(以壞換好)等
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司AE 霍廷格 賽恩電源鍍膜射頻匹配器維修
萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過(guò)低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空,冷表面(低溫板)必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類(lèi)型可以分為制冷機(jī)低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。
萊寶公司生產(chǎn)用制冷機(jī)冷卻低溫泵。
客戶得益
低溫泵的優(yōu)勢(shì):
- 所有氣體都有高抽速
- 對(duì)水汽有極高的抽速
對(duì)于相同直徑的高真空法蘭,低溫泵可以達(dá)到所有高真空泵MAX的抽速。
低溫泵的優(yōu)勢(shì)2:
與氣體傳輸泵(例如渦輪分子泵)相比,低溫泵在真空側(cè)沒(méi)有任何機(jī)械活動(dòng)
部件、潤(rùn)滑油或脂潤(rùn)滑部件。所以:- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至
≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強(qiáng)范圍的無(wú)烴真空
- 對(duì)外部振動(dòng)不敏感
其它優(yōu)點(diǎn):
- 與其他高真空泵相比更加緊湊(抽速大于1500 l x s-1)
- 僅啟動(dòng)和再生期間需要前級(jí)泵
- 利用計(jì)算機(jī)更容易對(duì)工藝和泵進(jìn)行控制
- 性價(jià)比更高,使用成本***,尤其是需要大抽速的應(yīng)用
萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠生產(chǎn)的COOLPOWER雙級(jí)冷頭冷卻(Gifford/McMahon原理)。
有關(guān)COOLVAC系列低溫泵的設(shè)計(jì),請(qǐng)見(jiàn)以下示意圖的內(nèi)容。
一級(jí)冷頭(9)冷卻熱輻射防護(hù)屏和低溫泵的障板(6)。
根據(jù)泵的型號(hào)和工作條件不同,達(dá)到45到80K的工作溫度,水蒸汽在這里冷凝。
熱輻射防護(hù)屏和障板為銅質(zhì),它們能很好地傳遞熱量,從而優(yōu)化制冷容量。
另外,熱輻射防護(hù)屏經(jīng)過(guò)拋光,將反射損失降到盡可能小。二級(jí)冷頭(7)用于冷卻冷傘(8)。
根據(jù)工作條件,達(dá)到 10到 20 K的工作溫度。氮?dú)、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導(dǎo)熱銅材與二級(jí)冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。
COOLVAC制冷機(jī)低溫泵
COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥(UHV型帶有爆破膜),安全閥由工廠設(shè)置,過(guò)壓150mbar(113托)時(shí)打開(kāi)。
為了***在安全閥動(dòng)作時(shí),安全地排出可能影響健康的氣體,安全閥另配有一個(gè) DN 40 KF 法蘭,上面可以連接一條排氣管線。
低溫泵的再生
低溫泵工作的一個(gè)重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵,所以被抽氣體都蓄積在泵內(nèi),飽和后必須泵排出。
具體操作方法是關(guān)閉壓縮機(jī)并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度,由前級(jí)真空泵將釋放的氣體排出。
非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過(guò)向泵內(nèi)吹掃干燥、預(yù)熱的惰性氣體(例如氮?dú)猓┘訜岬蜏貐^(qū)到室溫。此情況下,由于低溫泵內(nèi)不可能有確定的和受控制的溫度,所以無(wú)法排除氫氣和氧氣同時(shí)存在的情況。只有通過(guò)干燥惰性氣體的稀釋作用來(lái)防止可燃混合氣的形成。
多臺(tái)低溫泵組合操作
由于萊寶真空的壓縮機(jī)COOLPAK 6000HD功能強(qiáng)大,可以同時(shí)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)以上冷頭或低溫泵。
客戶得益
- ***的降低投資和操作成本
- 占地面積小
萊寶真空全自動(dòng)加熱再生低溫泵
低溫泵通過(guò)電加熱器將一級(jí)和二級(jí)冷頭加溫到室溫。此類(lèi)情況下,低溫泵內(nèi)可以達(dá)到確定和受控制的溫度分布。這個(gè)受控制的加溫過(guò)程***了氣體被連續(xù)排出,也就是按以下順序氣體一個(gè)接一個(gè)
被釋放:
- 吸附在冷傘上的氣體(例如氫氣、 氦氣、氖氣)
- 冷凝在冷傘上的氣體(例如氮?dú)、?氧氣、氬氣)
- 冷凝在障板和熱輻射防護(hù)屏上的氣 體和蒸汽(例如水蒸汽)
萊寶真空采用的這種電加熱再生方法能夠防止氫氣和氧氣之類(lèi)的氣體在泵內(nèi)同時(shí)存在,從根本上排除了可燃混合氣形成的可能。
加溫過(guò)程為全自動(dòng),泵內(nèi)的壓強(qiáng)和溫度分布,始終由控制系統(tǒng)確定和控制,從而***萊寶真空低溫泵再生期間較大限度的安全。
萊寶真空的低溫泵分自然再生(BL)和全自動(dòng)加熱再生(iCL)兩個(gè)系列:
1. COOLVAC ClassicLine(COOLVACiCL),單品以對(duì)氮?dú)獬樗倜▎挝籰/s),如COOLVAC 1500 iCL對(duì)氮?dú)獾某樗贋?500l/s?商峁⿵1500到60000l/s的全系列產(chǎn)
品。
在報(bào)價(jià)清單上,泵名稱(chēng)帶有符號(hào)“V”的:“V”表示高真空接口位于上端,冷頭在下面,例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。
2. COOLVAC BaseLine的命名規(guī)則相同,可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。
3. 特殊低溫泵
萊寶真空可以根據(jù)客戶要求提供***低溫泵,如為航天環(huán)境模擬應(yīng)用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2,詳細(xì)信息請(qǐng)和我們聯(lián)系。
典型應(yīng)用
- 蒸發(fā)器
- 濺射系統(tǒng)
- 離子注入機(jī)
- 光學(xué)鍍膜機(jī)
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司(工商注冊(cè)號(hào): 440307106134785),簡(jiǎn)稱(chēng)“天鉉真空”,注冊(cè)資金人民幣貳佰萬(wàn)元,公司坐落于改革開(kāi)放前沿深圳市,現(xiàn)在大陸各地均設(shè)有分支機(jī)構(gòu)和辦事處,合作供應(yīng)商都是來(lái)自德國(guó)、英國(guó)、日本、美國(guó)、臺(tái)灣及國(guó)內(nèi)等區(qū)域的廠家,截止至2008年底天鉉真空深圳總公司服務(wù)的客戶已突破800余家,天鉉真空憑借其強(qiáng)大的經(jīng)濟(jì)后盾及技術(shù)資源在國(guó)內(nèi)已打造成為以生產(chǎn)自主“天鉉”品牌、代銷(xiāo)、CTI冷泵維修,愛(ài)發(fā)科真空泵,MKS流量計(jì),英?嫡婵沼(jì),愛(ài)德華分子泵,萊寶真空泵,荏原干泵 ▲天鉉真空<font color="red" class="filter_items_word">經(jīng)銷(xiāo)</font>的品牌:消防水泵、德國(guó)(Becker)貝克、德國(guó)(BUSCH)普旭、德國(guó)(Rietschle)里其樂(lè)、法國(guó)(Leybold)萊寶、日本(Orion)好利旺、日本(ULVAC)愛(ài)華科、英國(guó)(EDWARDS)愛(ài)德華等;配件名稱(chēng):油霧分離器、碳精片、葉片、真空泵油、密封套件、空氣過(guò)濾器、軸承、單向閥、止回閥、機(jī)油格、散熱風(fēng)扇、聯(lián)軸器、O型圈等。
點(diǎn)擊查看>企業(yè)類(lèi)型 | 有限責(zé)任公司(自然人獨(dú)資) | 注冊(cè)資本 | 50.00萬(wàn)人民幣 |
公司注冊(cè)地址 | 深圳市龍崗區(qū)坪地街道中心社區(qū)黃新三巷5號(hào)101 | 統(tǒng)一社會(huì)信用代碼 | 91440300MA5GMP1485 |
登記機(jī)關(guān) | 深圳市市場(chǎng)監(jiān)督管理局 | 法定代表人 | 張志通 |
公司成立日期 | 2021-03-11 | 營(yíng)業(yè)期限 | 2021-03-11 至 無(wú)固定期限 |
經(jīng)營(yíng)范圍 | 一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:半導(dǎo)體,激光器,機(jī)械設(shè)備、數(shù)碼產(chǎn)品及其配件耗材的購(gòu)銷(xiāo);通訊設(shè)備、電子元器件、電子產(chǎn)品、計(jì)算機(jī)軟硬件、計(jì)算機(jī)及周邊 、消防器材、建筑及裝飾材料、廣告招牌的銷(xiāo)售,經(jīng)營(yíng)電子商務(wù),真空泵設(shè)備及配件 、真空泵油、潤(rùn)滑油、五金產(chǎn)品、塑膠制品的技術(shù)開(kāi)發(fā)、上門(mén)安裝、上門(mén)維護(hù)及購(gòu)銷(xiāo)(不含再生資源回收經(jīng)營(yíng));國(guó)內(nèi)貿(mào)易(法律、行政法規(guī)、國(guó)務(wù)院決定規(guī)定在登記前須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目除外)貨物及技術(shù)進(jìn)出口。辦公用品、家居廚衛(wèi)用品、體育用品、文化用品、印刷品、勞保用品、清潔用品、日用百貨的銷(xiāo)售;按摩儀器、化妝品、服裝鞋帽、針紡織品、皮革制品、箱包、工藝禮品、玩具、儀器儀表、陶瓷玻璃制品、橡膠及塑料制品的銷(xiāo)售。,許可經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:經(jīng)營(yíng)性互聯(lián)網(wǎng)信息服務(wù)。 |
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身份驗(yàn)證
- 營(yíng)業(yè)執(zhí)照已上傳
- 郵箱已驗(yàn)證
- 手機(jī)已驗(yàn)證
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經(jīng)營(yíng)模式
經(jīng)銷(xiāo)批發(fā)
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注冊(cè)資本
50.00萬(wàn)人民幣
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企業(yè)類(lèi)型
有限責(zé)任公司(自然人獨(dú)資)
- 主營(yíng)產(chǎn)品
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公司地址
廣東 深圳 龍崗區(qū) 深圳市坪地街道辦