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湖北銳誠真空科技有限公司主營：氦檢設(shè)備，氦檢漏設(shè)備，氦質(zhì)譜檢漏儀，真空箱氦檢漏

鍍膜設(shè)備在傳感器方面的應(yīng)用

在傳感器中，多采用那些電氣性質(zhì)相對(duì)于物理量、化學(xué)量及其變化來說，極為敏感的半導(dǎo)體材料。此外，其中大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì)，需要盡量增大其面積，且能工業(yè)化、低價(jià)格制作、因此采用薄膜的情況很多。

鍍膜設(shè)備在集成電路制造中的應(yīng)用

晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)�？梢姎庀喑练e術(shù)制備集成電路的核心技術(shù)之一。

氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體，對(duì)各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測(cè)的理想方法。

氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點(diǎn)在于：氦是惰性氣體，真空箱式氦檢漏公司，對(duì)大氣***，使用安全；氦原子質(zhì)量小，黏度小，易滲透過可能存在的漏隙。氦氣在大氣中含量�。�5ppm），不易受干擾。氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)靈敏度高，速度快，適用范圍廣。

目前國內(nèi)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀較小可檢漏率可達(dá)到5.0×10-13 Pa·m3/s。目前，國內(nèi)外比較流行的針對(duì)空調(diào)兩器檢漏方法，多采用真空箱法。